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半导体湿法工艺中的阀门应用

作者: 2021年02月05日 来源: 浏览量:
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蚀刻(Etch)是半导体加工中非常重要的一环,一般分为干法蚀刻和湿法蚀刻,其中湿法蚀刻涉及具有腐蚀性的化学药液和高纯水,对于介质流经的管路阀门等有较高标准的规定。

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